原装爱德华GV80/QDP80干式真空泵消音器

原装爱德华GV80/QDP80干式真空泵消音器

原装爱德华爪式真空泵消音器订货号A52819000，适用型号（GV80、CDP80、CDP40、

QDP80），排气消声器衰减来自泵的排气压力中的脉冲，并减少排气系统中泵引起的共振。

排气消声器适用于半导体应用中常用的所有腐蚀性气体和部分挥发性气体，其设计便于维护。

排气消音器的安装必须由经过适当培训和监督的技术人员进行，当你安装排气消声器时，尤其是当你

连接到一个现有的系统时，遵守下面列出的安全程序。具体的安全预防措施的细节在说明书中的适当

位置给出。

EDWARDS GV Drystar泵能够处理大是粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、高性能和高可靠性的同时

不会带来制程污染的风险。Drystar真空泵可以与Edwards EH系列机械增压泵结合以提高泵送性能。

功能和优势

可靠耐用的韧性铁构造。

具有重复泵送能力。

能够控制泵温。

优异的灰尘和蒸汽处理能力。

具有一劳永逸的性能。

使用现有过滤器可以很好的处理灰尘。

降低了噪音和振动。

排放的烟雾中不含油。

无需进行油回收，排放区域环境清洁。

延长了正常动行时间。

节省维护成本。

可连续在大气压下泵送，对泵无有害影响。

 原装爱德华GV80/QDP80干式真空泵消音器