日本爱发科干泵PDR-090CLN真空泵维修

日本爱发科干泵PDR-090CLN真空泵维修

爱发科PDR-090CLN干式多段式罗茨真空泵，用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程。此泵具有较高的耐腐蚀性能，高真度运行，由于具有优异的抗静态和动态内应力能力，所以泵能提供更强的安全性。
 

真空泵不良现象及原因分析

1、不良现象：真空泵运行过载报警。

2、原因分析：

经对真空泵进行拆解， 发现以下几个问题点：

不良现象 原因分析

（1）转子轴套部磨损：

因轴承磨损导致转子下限，轴套部位与端盖中间孔接触磨擦所致。

（2）泵内齿轮箱内积碳：

因泵轴承损坏，转子轴套与端盖中间磨擦导致高温，齿轮润滑油因高温氧化积碳。

（3）轴承磨损：

因轴承润滑脂失效，轴承干性旋转导致轴承滚珠在轴承内干磨。

（4）轴封磨损:

因轴承干磨磨出金属粉屑以及高温将轴封磨损。

（5）轴套磨损:

因高温运行，轴封密封部硬化，与轴套接触部位刚性磨擦将其轴套磨损。

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