日本ULVAC螺杆真空泵NRL180A维修保养

日本ULVAC螺杆真空泵NRL180A维修保养

爱发科真空泵NRL180A特点：

低噪音、低振动、*的耐腐蚀性。

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对府蚀性气体排气时泵

体内部的腐蚀程度。

随泵配送选购件：

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

适用于行业：

活性气体（CVD/刻蚀等）

排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）

用于产生粉尘工艺中的排气（Si单品炉等）

作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）

冷冻干燥等水蒸气排气。

爱发科NRL180A干式螺杆真空泵一般用于排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处

理、液晶注入等），排出非活性气体行业对泵的腐蚀性很大，大多数真空泵都是因为腐

蚀后转数慢，影响到生产效率，需要专业的厂家维修，东莞比其尔真空承接爱发科

NRL180A干式螺杆真空泵维修。

针对真空泵腐蚀的修复方法：

*清除表面氧化层，用丙酮将表面清洗干净。喷砂、打磨、涂防腐蚀涂层保护，专业

的安装方式完工。

爱发科NRL系列在低温领域下的均热化，除PVD工艺外，龙其适用于希望提高流量，缩

短非气时间的重要工艺腔体的排气。

选择比其尔的优势---进口真空泵专业维修厂家：拥有10年以上各类进口真空泵维修经验

及专业治具。*真空泵维修配件，提供6个月延长质保服务，终身技术支持。

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